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    To One氣浮隔振光學平臺(科研級)

    適合于高倍數電子顯微鏡、掃描探針顯微鏡、激光干涉儀、激光共聚焦顯微鏡等領域應用

    名稱:To One氣浮隔震光學平臺
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    To One氣浮隔震光學平臺


    To One氣浮隔震光學平臺.png

     

     

    ZI-QF 科研氣浮隔振光學平臺(科研級)

    應用領域: 

    適合于高倍數電子顯微鏡、掃描探針顯微鏡、激光干涉儀、激光共聚焦顯微鏡等領域應用

     

    產品特點: 

    公司依托于航空工業人員背景研發制造的具有負載能力強、剛性強、穩定性高、隔振效果好的科研級氣浮隔振光學平臺。 

    優異的隔振性能:內置精密空氣彈簧隔振系統,具備優秀的固有頻率,對多個方向的振動特別是垂直方向有著良好衰減效果,避免外界振動干擾設備儀器精度,提高儀器設備使用精度和使用效率。 

    自動調節水平功能:放置負載的位置發生變化,平臺迅速通過高精度閥門自動調整空氣彈簧內部的氣壓,自動保持水平。氣動元器件全部執行德國 FESTO 產品,標配進口無油壓縮機。 

    臺板采用蜂窩芯夾板結構,具有重量輕、高剛度、高阻尼等優點,上面板為 1cr17 優質高導磁不銹鋼,經精密研磨處理,平面度高,回旋打磨工藝清除毛邊,達到無反射、亞光效果, 面板具有M6螺紋孔陣列,易于固定光學元件。 

    隔振支撐為優質鋼管焊接而成,整體堅固穩定。 

    工作壓力為 0.35~0.6Mpa,標準配置調壓過濾閥將保證空氣彈簧的長期有效工作,用戶只需要將氣管連接進氣口,就能使裝置正常發揮隔振功能,氣源可通過小型空氣壓縮機或氮氣瓶供給,便于在安靜場合使用。


    技術指標

    平面度:< 0.05mm/m2

    ◆M6螺紋孔/孔間距 25X25mm
    表面粗糙度:< 0.8μm
    固有頻率:X方向:1.0Hz~1.5Hz;Y方向:1.0Hz~1.5Hz
    減振效率:X方向< 5Hz :88%~94% ;Y方向<5Hz :86%~92%

                X方向<10Hz:92%~98% ;Y方向<10Hz:90%~95% 

    振幅:< 1μm 

    荷載能力:800kg/m2 

    重復定位精度:±0.05mm 

     

    產品型號:(可根據客戶要求定制不同尺寸)

     

    型號

    規格(mm

    支撐數量

    面板厚度

    臺面厚度

    螺紋孔/孔距

    ZI-QF-06-06

    600x600x800

    4

    6mm

    50mm

    M6/25X25mm

    ZI-QF-075-075

    750x750x800

    4

    6mm

    50mm

    M6/25X25mm

    ZI-QF-09-06

    900x600x800

    4

    6mm

    100mm

    M6/25X25mm

    ZI-QF-10-08

    1000x800x800

    4

    6mm

    100mm

    M6/25X25mm

    ZI-QF-12-08

    1200x800x800

    4

    6mm

    100mm

    M6/25X25mm

    ZI-QF-12-09

    1200x900x800

    4

    6mm

    100mm

    M6/25X25mm

    ZI-QF-15-09

    1500x900x800

    4

    6mm

    100mm

    M6/25X25mm

    ZI-QF-16-10

    1600x1000x800

    4

    8mm

    200mm

    M6/25X25mm

    ZI-QF-15-12

    1500x1200x800

    4

    8mm

    200mm

    M6/25X25mm

    ZI-QF-18-10

    1800x1000x800

    4

    8mm

    200mm

    M6/25X25mm

    ZI-QF-18-12

    1800x1200x800

    4

    8mm

    200mm

    M6/25X25mm

    ZI-QF-20-10

    2000x1000x800

    4

    8mm

    200mm

    M6/25X25mm

    ZI-QF-20-12

    2000x1200x800

    4

    8mm

    200mm

    M6/25X25mm

    ZI-QF-24-12

    2400x1200x800

    4

    8mm

    200mm

    M6/25X25mm

    ZI-QF-30-12

    3000x1200x800

    6

    8mm

    200mm

    M6/25X25mm

    ZI-QF-30-15

    3000x1500x800

    6

    8mm

    200mm

    M6/25X25mm

    ZI-QF-35-15

    3500x1500x800

    6

    8mm

    200mm

    M6/25X25mm

    ZI-QF-40-15

    4000x1500x800

    6

    8mm

    200mm

    M6/25X25mm

    ZI-QF-50-15

    5000x1500x800

    10

    10mm

    300mm

    M6/25X25mm

    ZI-QF-60-15

    6000x1500x800

    12

    10mm

    300mm

    M6/25X25mm

     

    實際安裝案例:

    To One氣浮隔震光學平臺安裝案例1.pngTo One氣浮隔震光學平臺安裝案例2.pngTo One氣浮隔震光學平臺安裝案例3.png


    至一科技主動主動隔震系統,桌上型主動隔震臺,桌上型被動隔震臺,桌上型氣浮隔震臺,被動減震器......

    廣泛應用于電子顯微鏡、顯微鏡、半導體設備(光刻機、晶圓測試儀)、激光設備、原子力顯微鏡、干涉儀、輪廓儀等等

    ArisMD主動隔震系統安裝案例.png
    圖1:ArisMD主動隔震系統安裝案例(主要應用于電子顯微鏡、半導體設備)
    ArisTT主動隔震臺安裝案例.png
    圖2:ArisTT主動隔震臺安裝案例(主要應用于AFM、干涉儀、桌上型電鏡)
    SotoTT被動隔震臺安裝案例.png
    圖3:SotoTT被動隔震臺安裝案例(主要應用于顯微鏡、電子天平、激光設備、半導體測試測試設備)

    歡迎新老客戶咨詢


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